Název: Local Electron-Sample Interaction During Scanning Electron Microscopy on Organic and Metallic Objects
Autoři: Kaspar, Pavel
Typ dokumentu: Příspěvky z konference
Jazyk: eng
Nakladatel: Vysoké učení technické v Brně, Fakulta elektrotechniky a komunikačních technologií
Abstrakt: To ascertain how high energy of an electron is needed to acquire a sufficient data yield from organic and metallic sample, a Monte Carlo algorithm is used to compare the behaviour of electrons after contact with the material. Primary electron trajectory, elastic and inelastic scattering and secondary electron generation are described in this paper.
Klíčová slova: Electron scattering; Monte Carlo; Secondary electron; SEM
Zdrojový dokument: Proceedings of the 22nd Conference STUDENT EEICT 2016, ISBN 978-80-214-5350-0

Instituce: Vysoké učení technické v Brně (web)
Informace o dostupnosti dokumentu: Plný text je dostupný v Digitální knihovně VUT.
Původní záznam: http://hdl.handle.net/11012/84030

Trvalý odkaz NUŠL: http://www.nusl.cz/ntk/nusl-383748


Záznam je zařazen do těchto sbírek:
Školství > Veřejné vysoké školy > Vysoké učení technické v Brně
Konferenční materiály > Příspěvky z konference