Název:
Topná MEMS platforma pro chemické senzory
Překlad názvu:
MEMS microhotplate platform for chemical sensors
Autoři:
Vančík, Silvester ; Svatoš, Vojtěch (oponent) ; Prášek, Jan (vedoucí práce) Typ dokumentu: Diplomové práce
Rok:
2018
Jazyk:
slo
Nakladatel: Vysoké učení technické v Brně. Fakulta elektrotechniky a komunikačních technologií
Abstrakt: [slo][eng]
Táto diplomová práca sa zaoberá oblasťou návrhu a výroby mikroelektromechanickej vyhrievacej platformy pre chemické senzory plynov. V teoretickej časti sú popísané MEMS, senzory a výrobné procesy a technológie potrebné pre výrobu takejto platformy. Praktická časť obsahuje simulácie, návrh masiek kompletnú výrobu od masiek až po samotnú platformu na čipe. V práci sa tiež nachádzajú výsledky charakterizácie vyrobenej vyhrievacej platformy v porovnaním so simuláciami. Výsledky sú taktiež porovnané s hodnotami s literatúry.
This master’s thesis deals with design and fabrication of MEMS microhotplate platform for chemical gas sensors. The theoretical part describes MEMS, sensors and processes and technologies needed for fabrication of micro hotplate. The practical part includes simulations, masks and step by step microhotplate fabrication. Fabricated heating membrane was characterized and compared to theoretical values from simulations and to similar devices presented in literature.
Klíčová slova:
MEMS; microhotplate; photolithography; silicon dioxide; stress; thermal conductivity
Instituce: Vysoké učení technické v Brně
(web)
Informace o dostupnosti dokumentu:
Plný text je dostupný v Digitální knihovně VUT. Původní záznam: http://hdl.handle.net/11012/80879