Original title: Metodika stanovení velikosti detekovaného signálu v environmentálním SEM
Translated title: Method for evaluation of signal level value in environmental SEM
Authors: Kršňák, Jiří ; Tihlaříková, Eva (referee) ; Čudek, Pavel (advisor)
Document type: Master’s theses
Language: cze
Publisher: Vysoké učení technické v Brně. Fakulta elektrotechniky a komunikačních technologií
Abstract: [cze] [eng]
Předkládaná práce se zabývá vyhodnocováním detekce velikosti signálu z připraveného vzorku v environmentálním SEM. V práci bylo provedeno porovnání osciloskopické metody stanovení velikosti signálu v environmentálním SEM, metody vyhodnocování velikosti signálu z úrovně šedi ze snímků vzorků a metody měření velikosti signálu pomocí osciloskopu. V práci jsou popsány výhody a nevýhody metod a postup při zpracování těchto metod. This work deals with the evaluating of the signal level value from the sample in the environmental SEM. In work there were processed the comparison of the osciloscopic method for the evaluating of the signal level value in the environmental SEM, the method for the evaluating of the signal level from the grey level of the sample images and the method for the evaluating of the signal level from the osciloscop. There are described the advantages and disadvantages of the methods and procedures for processing the methods.
Keywords: back scattered electrons (BSE); environmental scanning electron microscope (environmental SEM); Scanning electron microscope (SEM); scintilation detector (SD).; secondary electrons (SE); signal level detection; detekce úrovně signálu; environmentální rastrovací elektronový mikroskop (environmentální SEM); Rastrovací elektronový mikroskop (SEM); scintilační detektor (SD).; sekundární elektrony (SE); zpětně odražené elektrony (BSE)

Institution: Brno University of Technology (web)
Document availability information: Fulltext is available in the Brno University of Technology Digital Library.
Original record: http://hdl.handle.net/11012/71847

Permalink: http://www.nusl.cz/ntk/nusl-374740


The record appears in these collections:
Universities and colleges > Public universities > Brno University of Technology
Academic theses (ETDs) > Master’s theses