Original title: New BSE Detector for Low Voltage SEM
Translated title: Nový detektor zpětně odražených elektronů pro nízkonapěťový SEM
Authors: Wandrol, Petr ; Autrata, Rudolf
Document type: Papers
Conference/Event: Mikroskopie 2006, Nové Město na Moravě (CZ), 2006-02-16 / 2006-02-17
Year: 2006
Language: eng
Abstract: [eng] [cze]
This work deals with the description of the new scintillation detector of backscattered electrons for the low voltage scanning electron microscope. Práce se zabývá popisem nového scintilačního detektoru zpětně odražených elektronů pro nízkonapěťový rastrovací elektronový mikroskop.
Keywords: backscattered electrons; detector; low voltage SEM
Project no.: KJB200650501 (CEP)
Funding provider: GA AV ČR
Host item entry: Mikroskopie 2006

Institution: Institute of Scientific Instruments AS ČR (web)
Document availability information: Fulltext is available at the institute of the Academy of Sciences.
Original record: http://hdl.handle.net/11104/0140976

Permalink: http://www.nusl.cz/ntk/nusl-36415


The record appears in these collections:
Research > Institutes ASCR > Institute of Scientific Instruments
Conference materials > Papers