Název:
Surface roughness and resistivity of thin films
Autoři:
Franc, J. ; Novotný, Jan Typ dokumentu: Příspěvky z konference Konference/Akce: Applied Electronics 2002, Pilsen (CZ), 2002-09-11 / 2002-09-12
Rok:
2002
Jazyk:
eng
Abstrakt: Surface finish of alumina thin film substrates was measured with stylus profilometer. A connection between the obtained values of Ra and the thin film resistance was studied. No correlation can be found owing to big stylus radius and computation method used in profilometer.
Klíčová slova:
surface contamination; surface treatment; thin films resistors Číslo projektu: CEZ:AV0Z2067918 (CEP), KSK1010104 Projekt 04/01:4046 (CEP) Poskytovatel projektu: GA AV ČR Zdrojový dokument: Applied Electronics 2002
Instituce: Ústav fotoniky a elektroniky AV ČR
(web)
Informace o dostupnosti dokumentu:
Dokument je dostupný v příslušném ústavu Akademie věd ČR. Původní záznam: http://hdl.handle.net/11104/0114169