Název: Technologie planárních optických vlnovodů typu SiO.sub.2./sub./Si.sub.3./sub.N.sub.4./sub. na polovodičových podložkách. (Fabrication technology of planar optical waveguides using SiO.sub.2./sub./Si.sub.3./sub.N.sub.4./sub. on semiconductor substrates)
Autoři: Hüttel, I. ; Vohralík, J. ; Čtyroký, Jiří ; Skalský, Miroslav
Typ dokumentu: Příspěvky z konference
Konference/Akce: OK'94, Praha (CZ), 1994-03-30
Rok: 1994
Jazyk: cze
Klíčová slova: integrated optics; optical waveguides
Číslo projektu: 102/93/0783
Poskytovatel projektu: GA ČR
Zdrojový dokument: Optické komunikace'94

Instituce: Ústav fotoniky a elektroniky AV ČR (web)
Informace o dostupnosti dokumentu: Dokument je dostupný v příslušném ústavu Akademie věd ČR.
Původní záznam: http://hdl.handle.net/11104/0112935

Trvalý odkaz NUŠL: http://www.nusl.cz/ntk/nusl-32178


Záznam je zařazen do těchto sbírek:
Věda a výzkum > AV ČR > Ústav fotoniky a elektroniky
Konferenční materiály > Příspěvky z konference