Original title: Computation of the low voltage BSE detector
Translated title: Výpočty nízkonapěťového BSE detektoru
Authors: Wandrol, Petr ; Autrata, Rudolf
Document type: Papers
Conference/Event: Mikroskopie 2005, Nové Město na Moravě (CZ), 2005-2-24 / 2005-2-25
Year: 2005
Language: eng
Abstract: [eng] [cze]
The scintillator-photomultiplier detection system installed under the pole piece represents the most efficient BSE detector in SEM. However, the initial energy of the BSEs of 0.5-3 keV in the LV SEM is the energy, on which the light yield of scintillators decreases. Appropriate acceleration of BSEs and declination of SEs is necessary for the best BSE image at low acceleration voltage. Electrostatic field affecting signal electron trajectories was simulated in the software package Simion 3D. Klasický detektor zpětně odražených elektronů nemá při nízké energii primárních elektronů (méně než 3 kV) signál dostatečný k vytvoření kvalitního obrazu. Vhodným urychlením zpětně odražených elektronů a odkloněním nežádoucích sekundárních elektronů je možné dosáhnout kvalitního nízkonapěťového BSE obrazu. V práci jsou pomocí programů ELD, MLD, Trasys a Simion 3D počítány elektrostatická a magnetická pole působící v okolí navrhovaného detektoru.
Keywords: computation; low voltage BSE detector; scintillation detector
Project no.: GA102/05/0886 (CEP)
Funding provider: GA ČR
Host item entry: Mikroskopie 2005

Institution: Institute of Scientific Instruments AS ČR (web)
Document availability information: Fulltext is available at the institute of the Academy of Sciences.
Original record: http://hdl.handle.net/11104/0111564

Permalink: http://www.nusl.cz/ntk/nusl-31991


The record appears in these collections:
Research > Institutes ASCR > Institute of Scientific Instruments
Conference materials > Papers