Original title:
Konstrukce nízkoenergiového REM
Translated title:
Design of low energy SEM
Authors:
Vlček, Ivan Document type: Papers Conference/Event: Mikroskopie 2005, Nové Město na Moravě (CZ), 2005-2-24 / 2005-2-25
Year:
2005
Language:
cze Abstract:
[cze][eng] Příspěvek stručně představuje hlavní znaky navrhovaného rastrovacího mikroskopu s nízkou energií elektronů.Paper briefly describes main features of proposed low-energy electron scanning microscope.
Keywords:
CCD detector; low energy SEM; Wien filter Project no.: GA202/03/1575 (CEP) Funding provider: GA ČR Host item entry: Mikroskopie 2005
Institution: Institute of Scientific Instruments AS ČR
(web)
Document availability information: Fulltext is available at the institute of the Academy of Sciences. Original record: http://hdl.handle.net/11104/0111558