Original title: Sběrová účinnost ET detektoru sekundárních elektronů v REM
Translated title: The collection efficiency of the ET detector of the secondary electrons in SEM
Authors: Konvalina, Ivo ; Müllerová, Ilona
Document type: Papers
Conference/Event: Mikroskopie 2005, Nové Město na Moravě (CZ), 2005-2-24 / 2005-2-25
Year: 2005
Language: cze
Abstract: [cze] [eng]
Práce se zabývá modelováním sběrové účinnosti ET detektoru sekundárních elektronů a studováním vlivů elektrostatických a magnetických polí a geometrických parametrů v komoře mikroskopu, které ovlivňují trajektorie sekundárních elektronů. This work is focused on the simulations of the collection efficiency of the ET detector of the secondary electrons. The influences of the electrostatic and magnetic fields and geometrical parameters, that influence trajectories of secondary electrons, are studied.
Keywords: collection efficiency; ET detector; secondary electrons
Project no.: CEZ:AV0Z20650511 (CEP)
Host item entry: Mikroskopie 2005

Institution: Institute of Scientific Instruments AS ČR (web)
Document availability information: Fulltext is available at the institute of the Academy of Sciences.
Original record: http://hdl.handle.net/11104/0111556

Permalink: http://www.nusl.cz/ntk/nusl-31983


The record appears in these collections:
Research > Institutes ASCR > Institute of Scientific Instruments
Conference materials > Papers