Original title: Detekce zpětně odražených elektronů v nízkonapěťové rastrovací elektronové mikroskopii
Translated title: Detection of Backscattered Electrons in Low Voltage Scanning Electron Microscopy
Authors: Wandrol, Petr
Document type: Papers
Conference/Event: PDS 2004, Brno (CZ), 2005-03-15
Year: 2005
Language: cze
Abstract: [cze] [eng]
Tato práce se zabývá řešením problému detekce zpětně odražených elektronů při urychlovacím napětí nižším než 3 kV scintilačním detektorem. Při takto nízkém urychlovacím napětí, a tudíž malé energii zpětně odražených elektronů, produkují scintilační monokrystaly velmi nízký počet fotonů a obraz získaný scintilačním detektorem zpětně odražených elektronů je nekvalitní. Proto je nutné, pokud chceme získat obraz materiálového kontrastu, dodat zpětně odraženým elektronům energii potřebnou pro vytvoření dostatečného množství fotonů a zároveň elektromagnetickým polem odklonit sekundární elektrony, které přinášejí do obrazu nepříznivý vliv topografického kontrastu. This paper deals with the problems of backscattered electrons (BSE) detection in low voltage scanning electron microscopy (LV SEM). The BSE energy is 3 keV and less in LV SEM. This low BSE energy causes problems with the acquisition of sufficient signal for the image. It is necessary to accelerate BSE and separate SE to obtain applicable specimen image.
Keywords: backscattered electrons; low voltage SEM; trajectories
Project no.: GA102/05/0886 (CEP)
Funding provider: GA ČR
Host item entry: PDS 2004 - Sborník prací doktorandů oboru Elektronové optiky, ISBN 80-239-4561-0

Institution: Institute of Scientific Instruments AS ČR (web)
Document availability information: Fulltext is available at the institute of the Academy of Sciences.
Original record: http://hdl.handle.net/11104/0111298

Permalink: http://www.nusl.cz/ntk/nusl-31958


The record appears in these collections:
Research > Institutes ASCR > Institute of Scientific Instruments
Conference materials > Papers