Název: Příprava vzorků nanostruktur v SEM/FIB a jejich studium v transmisním elektronovém mikroskopu
Překlad názvu: Preparation of nanostructure samples in SEM/FIB and their study in TEM
Autoři: Lavková, Jaroslava ; Matolínová, Iva (vedoucí práce) ; Pešička, Josef (oponent)
Typ dokumentu: Diplomové práce
Rok: 2012
Jazyk: slo
Abstrakt: [eng] [cze]
This work is studying the layers of cerium oxide (doped with platinum) prepa- red by magnetron sputtering on different types of substrates. Attention is focused mainly on modes of growth and morfology of (Pt−)CeO2 layers. The study was carried out by scanning electron microscopy (SEM) and transmission electron microscopy (TEM). The specimens (lamellas) were created by using focused ion beam (FIB) with respect to transparency for electron beam and material contrast. The emphasis was on elimination of redeposition and minimize the amorphous layer of lamella. Representation of elements was determined by energy-dispersive spectroscopy (EDX) and electron-energy loss spectroscopy (EELS). 1 Táto práca je zameraná na štúdium vrstiev oxidu céru (dopovaných platinou) pripravených magnetrónovým naprašovaním na rôzne druhy substrátov. Pozor- nosť je upriamená predovšetkým na spôsob rastu a morfológiu vrstiev (Pt−)CeO2. Štúdium prebiehalo prostredníctvom skenovacej elektrónovej mikroskopie (SEM) a transmisnej elektrónovej mikroskopie (TEM). Vzorky (lamely) pre TEM boli pripravené pomocou fokusovaného iónového zväzku (FIB) s ohľadom na transpa- rentnosť pre elektrónový zväzok a dostatočný materiálový kontrast. Zároveň bol kladený doraz na elimináciu redepozície a minimalizáciu amorfnej vrstvy lamiel. Zastúpenie jednotlivých prvkov bolo určované energiovo-disperznou spektrosko- piou (EDX) a spektroskopiou charakteristických energetických strát elektrónov (EELS). 1
Klíčová slova: FIB; lamela; oxid céru; SEM; TEM; cerium oxide; FIB; lamella; SEM; TEM

Instituce: Fakulty UK (VŠKP) (web)
Informace o dostupnosti dokumentu: Dostupné v digitálním repozitáři UK.
Původní záznam: http://hdl.handle.net/20.500.11956/46551

Trvalý odkaz NUŠL: http://www.nusl.cz/ntk/nusl-310834


Záznam je zařazen do těchto sbírek:
Školství > Veřejné vysoké školy > Univerzita Karlova > Fakulty UK (VŠKP)
Vysokoškolské kvalifikační práce > Diplomové práce