Název:
Optoelectronic pressure sensor with Si.sub.3./sub.N.sub.4./sub. diaphragm
Autoři:
Beneš, P. ; Matějka, František ; Vrba, R. ; Kolařík, V. Typ dokumentu: Příspěvky z konference Konference/Akce: ICPR, Praha (CZ), 2001-07-29 / 2001-08-03
Rok:
2001
Jazyk:
eng
Abstrakt: Sensitive pressure sensor with nitride membrane and optoelectronic read-out system is described. Measured pressure is transformed into the deformation of a thick layer nitride membrane. Nitride membrane creates a mirror for laser beam and moves with reflected laser mark. Its position is sensed via a position sensing device - photo lateral diode. Diode double current signal is amplified and conditioned digitally by ADuC 812 microcomputer. This one chip provides an IEEE 1451.2 interface.
Klíčová slova:
nitride membrane; optoelectronic; pressure Číslo projektu: CEZ:AV0Z2065902 (CEP) Zdrojový dokument: 16th international conference on production research, ISBN 80-02-01438-3
Instituce: Ústav přístrojové techniky AV ČR
(web)
Informace o dostupnosti dokumentu:
Dokument je dostupný v příslušném ústavu Akademie věd ČR. Původní záznam: http://hdl.handle.net/11104/0101224