Original title: Detekce zpětně odražených elektronů v nízkoenergiové oblasti spektra elektronového svazku v SEM
Translated title: Detection of backscattered electrons in the low energy area of the spectra of the electron beam in SEM
Authors: Přichystal, Vladimír
Document type: Papers
Conference/Event: PDS 2002, Brno (CZ), 2002-12-16
Year: 2002
Language: cze
Abstract: [cze] [eng]
Práce je zaměřena především na výzkum detektoru pro společnou i oddělenou detekci zpětně odražených (BSE) a sekundárních elektronů (SE) v rastrovacím elektronovém mikroskopu za podmínek, kdy energie dopadajícího svazku primárních elektronů na vzorek činí 1 keV a méně. Hlavním úkolem je návrh a realizace detektoru pro elektronový rastrovací mikroskop JSM-6700F od firmy JEOL a následné měření vlastností tohoto detektoru a jeho vlivu na činnost mikroskopu. The work focuses especially on research of a detector for conjoint as well as separated detection of backscattered (BSE) and secondary (SE) electrons in a scanning electron microscope in conditions, where the energy of the impacting beam of primary electrons onto a specimen is 1 keV and less. The main goal is a design and realization of a detector for the electron scanning microscope JSM-6700F by the firm JEOL and following measurement of properties of this detector and its influence on the operation of the microscope.
Keywords: BSE; low energy; SEM; BSE
Project no.: IBS2065107 (CEP), GA102/01/1271 (CEP), CEZ:AV0Z2065902 (CEP)
Funding provider: GA AV ČR, GA ČR
Host item entry: Sborník prací prezentovaných na Semináři doktorandů oboru Elektronová optika konaném dne 16. 12. 2002, ISBN 80-238-9915-5

Institution: Institute of Scientific Instruments AS ČR (web)
Document availability information: Fulltext is available at the institute of the Academy of Sciences.
Original record: http://hdl.handle.net/11104/0101211

Permalink: http://www.nusl.cz/ntk/nusl-29580


The record appears in these collections:
Research > Institutes ASCR > Institute of Scientific Instruments
Conference materials > Papers