Název: Rastrovací elektronová mikroskopie pomalými a Augerovými elektrony
Překlad názvu: Scanning electron microscopy by slow and Auger electrons
Autoři: Hrnčiřík, Petr
Typ dokumentu: Příspěvky z konference
Konference/Akce: PDS 2002, Brno (CZ), 2002-12-16
Rok: 2002
Jazyk: cze
Abstrakt: [cze] [eng]
Hlavním cílem práce je srovnání signálů v pomalých a Augerových elektronech in situ v rastrovacím elektronovém mikroskopu. Součástí práce je dokončení experimentálního zařízení, provedení simulací a výpočtů jeho vlastností a interpretace získaných obrazhových dat. The main goal of the work is comparison of signals in slow and Auger electrons in situ in scanning electron microscope. The project includes completion of the experimental device, accomplishment of simulations and computations of its properties and interpretation of the obtained image data.
Klíčová slova: Auger spectroscopy; computer simulations; microscopy with slow electrons
Číslo projektu: IAA1065901 (CEP), CEZ:AV0Z2065902 (CEP)
Poskytovatel projektu: GA AV ČR
Zdrojový dokument: Sborník prací prezentovaných na Semináři doktorandů oboru Elektronová optika konaném dne 16. 12. 2002, ISBN 80-238-9915-5

Instituce: Ústav přístrojové techniky AV ČR (web)
Informace o dostupnosti dokumentu: Dokument je dostupný v příslušném ústavu Akademie věd ČR.
Původní záznam: http://hdl.handle.net/11104/0101205

Trvalý odkaz NUŠL: http://www.nusl.cz/ntk/nusl-29574


Záznam je zařazen do těchto sbírek:
Věda a výzkum > AV ČR > Ústav přístrojové techniky
Konferenční materiály > Příspěvky z konference