Název:
Misalignment aberrations
Autoři:
Dvořák, David Typ dokumentu: Příspěvky z konference Konference/Akce: Recent trends in charged particle optics and surface physics instrumentation, Skalský dvůr (CZ), 2002-07-08 / 2002-07-12
Rok:
2002
Jazyk:
eng
Abstrakt: Misalignment aberrations arise from (small) imperfections of lens geometry - either because of the inaccuracy in the manufacturing of individual elements (like electrodes and/or pole-piece defects) or the misalignment of the optical elements in the system (tilted of shifted element). Under suchcircumstances the ideal symmetry is disturbed and additional parasitic fields are produced. In the effect they are producing additional image aberrations.
Klíčová slova:
misalignment aberrations; optical elements Číslo projektu: CEZ:AV0Z2065902 (CEP) Zdrojový dokument: Proceedings of the 8.sup.th./sup. international seminar, held in Skalský dvůr, ISBN 80-238-8986-9
Instituce: Ústav přístrojové techniky AV ČR
(web)
Informace o dostupnosti dokumentu:
Dokument je dostupný v příslušném ústavu Akademie věd ČR. Původní záznam: http://hdl.handle.net/11104/0101114