Název: Scanning low and very low energy electron microscopy
Autoři: Müllerová, Ilona ; Frank, Luděk
Typ dokumentu: Příspěvky z konference
Konference/Akce: EUREM /12./ - European Congress on Electron Microscopy, Brno (CZ), 2000-07-09 / 2000-07-14
Rok: 2000
Jazyk: eng
Abstrakt: The main aspects of the SEM performed in the low energy (below 5 keV) and very low energy (below 50 to 100 eV) ranges are briefly summarised. They include the necessity to vary the beam energy along the column, in order to suppress the energy dependence of the resolution, and to tune the compromise between the resolution and the field on the specimen surface. Applications under "normal" vacuum conditions are mentioned.
Číslo projektu: CEZ:AV0Z2065902 (CEP), IAA1065901 (CEP)
Poskytovatel projektu: GA AV ČR
Zdrojový dokument: Proceedings of the 12th European Congress on Electron Microscopy, ISBN 80-238-5503-4
Poznámka: Související webová stránka: mailto:ilona@isibrno.cz

Instituce: Ústav přístrojové techniky AV ČR (web)
Informace o dostupnosti dokumentu: Dokument je dostupný v příslušném ústavu Akademie věd ČR.
Původní záznam: http://hdl.handle.net/11104/0100861

Trvalý odkaz NUŠL: http://www.nusl.cz/ntk/nusl-29463


Záznam je zařazen do těchto sbírek:
Věda a výzkum > AV ČR > Ústav přístrojové techniky
Konferenční materiály > Příspěvky z konference