Název: Mikrolitografie struktur pro senzoriku a prvky MEMS a OVS
Překlad názvu: Microlithography of Structures for Sensors, MEMS and OFS
Autoři: Matějka, František ; Kolařík, V.
Typ dokumentu: Příspěvky z konference
Konference/Akce: Transfer 98, Praha (CZ), 1998-06-08 / 1998-06-10
Rok: 1998
Jazyk: cze
Číslo projektu: GA102/97/S078 (CEP)
Poskytovatel projektu: GA ČR
Zdrojový dokument: Celostátní konference technických univerzit a průmyslu Transfer 98

Instituce: Ústav přístrojové techniky AV ČR (web)
Informace o dostupnosti dokumentu: Dokument je dostupný v příslušném ústavu Akademie věd ČR.
Původní záznam: http://hdl.handle.net/11104/0100645

Trvalý odkaz NUŠL: http://www.nusl.cz/ntk/nusl-29421


Záznam je zařazen do těchto sbírek:
Věda a výzkum > AV ČR > Ústav přístrojové techniky
Konferenční materiály > Příspěvky z konference