Název:
Noncharging Microscopy of Semiconductor Structures
Autoři:
Hutař, Otakar Typ dokumentu: Příspěvky z konference Konference/Akce: Recent Trends /6./ in Charged Particle Optics and Surface Physics Instrumentation, Skalský Dvůr (CZ), 1998-06-29 / 1998-07-03
Rok:
1998
Jazyk:
eng Číslo projektu: IAA2065703 (CEP) Poskytovatel projektu: GA AV ČR Zdrojový dokument: Recent Trends in Charged Particle Optics and Surface Physics Instrumentation - 6th Seminar, ISBN 80-238-2333-7
Instituce: Ústav přístrojové techniky AV ČR
(web)
Informace o dostupnosti dokumentu:
Dokument je dostupný v příslušném ústavu Akademie věd ČR. Původní záznam: http://hdl.handle.net/11104/0100601