Název:
Využití zrcadlového detektoru katodoluminiscenčního signálu a zpětně odražených elektronů pro diagnostiku materiálů v rastrovacím elektronovém mikroskopu
Autoři:
Autrata, Rudolf ; Jirák, J. ; Špinka, J. Typ dokumentu: Příspěvky z konference Konference/Akce: EDS '94 - Electronic Devices and Systems Conference, Brno (CZ), 1994-11-22 / 1994-11-23
Rok:
1994
Jazyk:
eng Zdrojový dokument: Proceedings of Electronic Devices and Systems Conference 1994
Instituce: Ústav přístrojové techniky AV ČR
(web)
Informace o dostupnosti dokumentu:
Dokument je dostupný v příslušném ústavu Akademie věd ČR. Původní záznam: http://hdl.handle.net/11104/0100267