Název: Masks for optical lithography of Josephson's bridges prepared by electron beam lithography
Autoři: Matějková, Jiřina ; Matějka, František
Typ dokumentu: Příspěvky z konference
Konference/Akce: EDS '93 - Electronic Devices and Systems Seminar, (CZ), 1993-11-09
Rok: 1993
Jazyk: eng
Zdrojový dokument: Proceedings of the Seminar on Electronic Devices and Systems '93

Instituce: Ústav přístrojové techniky AV ČR (web)
Informace o dostupnosti dokumentu: Dokument je dostupný v příslušném ústavu Akademie věd ČR.
Původní záznam: http://hdl.handle.net/11104/0100171

Trvalý odkaz NUŠL: http://www.nusl.cz/ntk/nusl-29305


Záznam je zařazen do těchto sbírek:
Věda a výzkum > AV ČR > Ústav přístrojové techniky
Konferenční materiály > Příspěvky z konference