Název:
Masks for optical lithography of Josephson's bridges prepared by electron beam lithography
Autoři:
Matějková, Jiřina ; Matějka, František Typ dokumentu: Příspěvky z konference Konference/Akce: EDS '93 - Electronic Devices and Systems Seminar, (CZ), 1993-11-09
Rok:
1993
Jazyk:
eng Zdrojový dokument: Proceedings of the Seminar on Electronic Devices and Systems '93
Instituce: Ústav přístrojové techniky AV ČR
(web)
Informace o dostupnosti dokumentu:
Dokument je dostupný v příslušném ústavu Akademie věd ČR. Původní záznam: http://hdl.handle.net/11104/0100171