Název:
Diagnostika plazmatu s vysokou ionizací při PVD depozici tenkých vrstev.
Překlad názvu:
Diagnosties of highly ionized plasma during PVD thin film deposition.
Autoři:
Jílek, Mojmír ; Tichý, Milan (vedoucí práce) ; Hrachová, Věra (oponent) Typ dokumentu: Diplomové práce
Rok:
2007
Jazyk:
cze