Název:
Vliv pracovních podmínek v rastrovacím elektronovém mikroskopu Vega 3 XMU na signál detekovaný BSE detektorem
Překlad názvu:
Influence of working conditions on the detected signal by BSE detector in the scanning electron microscope Vega 3 XMU
Autoři:
Tkáčová, Tereza ; Chladil, Ladislav (oponent) ; Čudek, Pavel (vedoucí práce) Typ dokumentu: Bakalářské práce
Jazyk:
cze
Nakladatel: Vysoké učení technické v Brně. Fakulta elektrotechniky a komunikačních technologií
Abstrakt: [cze][eng]
Táto práca je zameraná na zisťovanie vplyvu rôznych pracovných podmienok v rastrovacom elektrónovom mikroskope na signál detekovaný detektorom spätne odrazených elektrónov. V teoretickej časti je všeobecný popis rastrovacieho elektrónového mikroskopu, problematiky spätne odrazených elektrónov a taktiež popis metód vyhodnocovania pomeru signál - šum. Praktická časť je zameraná na priame pozorovanie vhodných vzorkov v rastrovacom elektrónovom mikroskope.
This work is focused on investigating of influence of different working conditions in scanning electron microscope to signal detected by backscattered electron detector. In the theoretical part, there is a general description of scanning electron microscope, backscattered electrons issue and also definition of methods of signal to noise ratio evaluation. The practical part is focused on observation of suitable samples in a scanning electrone microscope.
Klíčová slova:
environmentálny rastrovací elektrónový mikroskop; pomer signál-šum; Rastrovací elektrónový mikroskop; scinilačný detektor spätne odrazených elektrónov; spätne odrazené elektróny; backscattered electrons; electron microscope; environmental scanning electron microscope; scintillation detector od backscattered electrons; signal to noise ratio
Instituce: Vysoké učení technické v Brně
(web)
Informace o dostupnosti dokumentu:
Plný text je dostupný v Digitální knihovně VUT. Původní záznam: http://hdl.handle.net/11012/63696