Original title: Příprava vzorků pro kalibraci zvětšení elektronových mikroskopů / 2016
Translated title: Preparation of samples for calibration of electron microscope magnification / 2016
Authors: Olejník, Kamil
Document type: Research reports
Year: 2016
Language: cze
Abstract: [cze] [eng]
Zabývali jsme se litografickou přípravou vzorků používaných pro kalibraci zvětšení elektronových mikroskopů.We have been working on lithographical preparation of specimens used for magnification calibration of electron microscopes. We have been working on lithographical preparation of specimens used for magnification calibration of electron microscopes.\n
Keywords: electron microscope calibration; electron-beam lithography

Institution: Institute of Physics AS ČR (web)
Document availability information: Fulltext is available at the institute of the Academy of Sciences.
Original record: http://hdl.handle.net/11104/0269218

Permalink: http://www.nusl.cz/ntk/nusl-263381


The record appears in these collections:
Research > Institutes ASCR > Institute of Physics
Reports > Research reports