Název:
Příprava vzorků pro kalibraci zvětšení elektronových mikroskopů / 2016
Překlad názvu:
Preparation of samples for calibration of electron microscope magnification / 2016
Autoři:
Olejník, Kamil Typ dokumentu: Výzkumné zprávy
Rok:
2016
Jazyk:
cze
Abstrakt: [cze][eng] Zabývali jsme se litografickou přípravou vzorků používaných pro kalibraci zvětšení elektronových mikroskopů.We have been working on lithographical preparation of specimens used for magnification calibration of electron microscopes.We have been working on lithographical preparation of specimens used for magnification calibration of electron microscopes.\n
Klíčová slova:
electron microscope calibration; electron-beam lithography
Instituce: Fyzikální ústav AV ČR
(web)
Informace o dostupnosti dokumentu:
Dokument je dostupný v příslušném ústavu Akademie věd ČR. Původní záznam: http://hdl.handle.net/11104/0269218