Original title:
Vliv pracovních podmínek v rastrovacím elektronovém mikroskopu Vega 3 XMU na signál detekovaný BSE detektorem
Translated title:
Influence of working conditions on the detected signal by BSE detector in the scanning electron microscope Vega 3 XMU
Authors:
Tkáčová, Tereza ; Chladil, Ladislav (referee) ; Čudek, Pavel (advisor) Document type: Bachelor's theses
Language:
cze Publisher:
Vysoké učení technické v Brně. Fakulta elektrotechniky a komunikačních technologií Abstract:
[cze][eng]
Táto práca je zameraná na zisťovanie vplyvu rôznych pracovných podmienok v rastrovacom elektrónovom mikroskope na signál detekovaný detektorom spätne odrazených elektrónov. V teoretickej časti je všeobecný popis rastrovacieho elektrónového mikroskopu, problematiky spätne odrazených elektrónov a taktiež popis metód vyhodnocovania pomeru signál - šum. Praktická časť je zameraná na priame pozorovanie vhodných vzorkov v rastrovacom elektrónovom mikroskope.
This work is focused on investigating of influence of different working conditions in scanning electron microscope to signal detected by backscattered electron detector. In the theoretical part, there is a general description of scanning electron microscope, backscattered electrons issue and also definition of methods of signal to noise ratio evaluation. The practical part is focused on observation of suitable samples in a scanning electrone microscope.
Keywords:
backscattered electrons; electron microscope; environmental scanning electron microscope; scintillation detector od backscattered electrons; signal to noise ratio; environmentálny rastrovací elektrónový mikroskop; pomer signál-šum; Rastrovací elektrónový mikroskop; scinilačný detektor spätne odrazených elektrónov; spätne odrazené elektróny
Institution: Brno University of Technology
(web)
Document availability information: Fulltext is available in the Brno University of Technology Digital Library. Original record: http://hdl.handle.net/11012/61687