Název: Modifikace materiálů pro optiku, elektroniku a spintroniku iontovým svazkem – iontová implantace pomocí urychlovačů nebo laserem indukovaného plazmatu
Překlad názvu: Ion beam modification of materials for optics, electronic and spintronics -ion implantation using accelerators or laser induced plasma ion generation
Autoři: Macková, Anna
Typ dokumentu: Příspěvky z konference
Konference/Akce: LŠVT - Letní škola vakuové techniky 2016, Bořetice (CZ), 20160530
Rok: 2016
Jazyk: cze
Abstrakt: Ion beam modification offers a broad field of the creating the new functional materials and nano-structures for optics, electronics, spintronics and other material branches. Using ions produced by ion accelerators or implanters\nmeans the usage of the monoenergetic beams for precise doped layer, nano-particles or cluster creation by varying the ion implantation specie versus matrix combination together with the implantation energy, ion flux etc. Recently\nappears the multienergetic ion implantation which is realized by using of the intense laser shot generating plasma from the specially designed targets, where the ions are accelerated and can be then implanted into the various\nmaterials. This contribution will present an overview and comparison of different ion beam modification techniques, plasma ion implantation will be also mentioned.
Klíčová slova: ion implantation; materials; modification
Zdrojový dokument: Zpravodaj ČVS, ISSN 1213-2705

Instituce: Ústav jaderné fyziky AV ČR (web)
Informace o dostupnosti dokumentu: Dokument je dostupný v příslušném ústavu Akademie věd ČR.
Původní záznam: http://hdl.handle.net/11104/0260774

Trvalý odkaz NUŠL: http://www.nusl.cz/ntk/nusl-253642


Záznam je zařazen do těchto sbírek:
Věda a výzkum > AV ČR > Ústav jaderné fyziky
Konferenční materiály > Příspěvky z konference