Název: Vývoj lineárního posuvu pro UHV STM/AFM
Překlad názvu: Development of a linear stage actuator for UHV STM/AFM
Autoři: Pavelec, Jiří ; Jiruše, Jaroslav (oponent) ; Šikola, Tomáš (vedoucí práce)
Typ dokumentu: Diplomové práce
Rok: 2011
Jazyk: cze
Nakladatel: Vysoké učení technické v Brně. Fakulta strojního inženýrství
Abstrakt: [cze] [eng]
Diplomová práce popisuje vývoj lineárního posuvu. Vývoj směřuje přes jednodušší prototypy až k aplikaci více lineárních posuvů jako tříosého manipulátoru vzorku v rastrovacím tunelovacím mikroskopu / mikroskopu atomárních sil (STM/AFM) v prostředí velmi vysokého vakua (UHV). Jsou diskutována možná řešení odměřovacího systému a lineárního vedení. Je popsána konstrukce a použití homodyního interferometru při optimalizaci vyvíjených lineárních posuvů, které využívají piezokeramických hybných členů. Model optického pravítka s mřížkou je propočten s využítím poznatků teorie skalární difrakce. The aim of this diploma thesis is to develop a linear positioning stage for Ultra High Vacuum (UHV) environment. Simple prototypes of the linear positioning stage were designed and incorporated as part of a multiaxis sample manipulator for a UHV Scanning Tunneling Microscopy / Atomic Force Microscopy (STM/AFM). Different types of position encoders and linear guideways are discussed. Implementation of the homodyne interferometer as an optimization tool for a slip-stick based linear stage is described. Scalar diffraction theory is used to model the diffraction grating optical position encoder behavior.
Klíčová slova: AFM; difrakční mřížka; Fresnelova difrakce.; homodynní interferometr; kuličkové vedení; lineární posuv; lineární vedení; nanotechnologie; optické pravítko; piezo; piezokeramický materiál; pulzy; slip-stick; STM; trojosý manipulátor; tření; UHV; vakuum; actuator; AFM; Fresnell difraction.; friction; homodyne interferometer; linear rolling guideway; manipulator stage; nanotechnology; optical encoder; piezo; piezoceramics; pulse; slip-stick; STM; UHV; vacuum

Instituce: Vysoké učení technické v Brně (web)
Informace o dostupnosti dokumentu: Plný text je dostupný v Digitální knihovně VUT.
Původní záznam: http://hdl.handle.net/11012/993

Trvalý odkaz NUŠL: http://www.nusl.cz/ntk/nusl-229812


Záznam je zařazen do těchto sbírek:
Školství > Veřejné vysoké školy > Vysoké učení technické v Brně
Vysokoškolské kvalifikační práce > Diplomové práce