Název:
Snímač tlaku vytvořený strukturou 3D
Překlad názvu:
Pressure sensor made 3D structure
Autoři:
Hanus, Martin ; Pekárek, Jan (oponent) ; Kosina, Petr (vedoucí práce) Typ dokumentu: Bakalářské práce
Rok:
2009
Jazyk:
cze
Nakladatel: Vysoké učení technické v Brně. Fakulta elektrotechniky a komunikačních technologií
Abstrakt: [cze][eng]
Tato práce se zabývá problematikou snímače tlaku vytvořeného pomocí struktury 3D. Snímač tlaku převádí tlak na lépe měřitelnou veličinu, která se dále zpracovává. Snímání tlaku se provádí nejčastěji kapacitně, tenzometricky a opticky. Struktury 3D lze konstruovat za pomoci technologie LTCC, kterou lze oproti standardní korundové keramice laminovat do vícevrstvých struktur. Pasivní obvodové součástky lze na jednotlivé vrstvy keramiky nanášet pomocí tenkovrstvé nebo tlustovrstvé technologie. Praktická část práce se zabývá několika způsoby konstrukce tlakového snímače. Jedná se především o kapacitní tenzometrický a optický senzor a případné problémy s výrobou jednotlivých senzorů především problémy s laminací, dutinami nebo výpalem.
This thesis deals with the points at issue of a 3D structure pressure sensor. The pressure sensor converts pressure into another physical quantity which is easier measure and which is processed subsequently. Usually ways of pressure sensing is for example capacitive, strain-gauge and optical. The 3D structures are constructed through the use of a LTCC technology, which can be laminated to create multi-layer structures, compared to standard high-temperature ceramics. Passive circuit components can be applied onto particular ceramic layers using either thin-layer or thick-layer technology. Practice part of thesis deals with several ways of construction a pressure sensor. First of all capacitive, strain-gauge and optical sensor and possible problems with construction individual sensors above all problems with lamination, cavity or burning
Klíčová slova:
3D struktura; keramika; LTCC; tlakový snímač; 3D structure; ceramic; LTCC; pressure sensor
Instituce: Vysoké učení technické v Brně
(web)
Informace o dostupnosti dokumentu:
Plný text je dostupný v Digitální knihovně VUT. Původní záznam: http://hdl.handle.net/11012/681