Original title: Optimalizace výroby dutin v keramice s nízkou teplotou výpalu
Translated title: Optimization of Cavity Fabrication in Low Temperature Co-fired Ceramics
Authors: Dóczy, Robert ; Somer, Jakub (referee) ; Štekovič, Michal (advisor)
Document type: Master’s theses
Year: 2014
Language: cze
Publisher: Vysoké učení technické v Brně. Fakulta elektrotechniky a komunikačních technologií
Abstract: [cze] [eng]
Diplomová práce se zabývá realizací uzavřených dutin v keramice s nízkou teplotou výpalu (LTCC). V posledních letech je LTCC keramice věnována stále větší pozornost v oblastech senzorů, MEMS a mikro-fluidních aplikacích. Při realizaci takových zařízení je důležité, aby si dutiny zachovaly svou kompaktnost a rozměry po výrobním procesu. Toho je dosaženo především správnou volbou laminačního postupu za vhodných parametrů laminace a vhodným nastavením vypalovacího profilu. Teoretická část práce popisuje jednotlivé kroky při výrobě LTCC struktury a dále se zabývá nejčastějšími technologickými postupy používanými pro tvorbu struktur s dutinami a mikro-kanálky. V praktické části práce jsou vybrané laminační postupy realizovány na testovacím motivu, jež obsahuje dutiny o různých rozměrech. Byl kladen důraz na správné provedení jednotlivých metod, přičemž se postupně modifikovaly laminační parametry. Dosažené výsledky jsou dále diskutovány z hlediska použitých postupů, nastavených parametrů procesu a jejich vlivu na rozměry zhotovovaných dutin. This work deals with the fabrication of closed cavities in Low Temperature Co-Fired Ceramics (LTCC). In recent years, the LTCC ceramics have become widely used in the areas of sensors, MEMS and micro-fluidic applications. When fabricating such devices, it is important that the cavities maintain their compactness and dimensions after the manufacturing process . This is achieved primarily with the right choice of lamination process and its parameters and also by appropriate setting of the firing profile. The theoretical part describes the various steps in the production of LTCC structures and the most common technological processes used for creating structures with cavities and micro - channels . In the practical part are selected laminating procedures performed on the test pattern, which contains cavities of different sizes. Emphasis was placed on the correct execution of each method , while gradually modifying the lamination parameters. The achieved results are further discussed in terms of process parameters and their influence on the dimensions of manufactured cavities.
Keywords: cavity; Deformation; lamination; low temperature cofired ceramic; microchannel; Deformace; dutina; laminace; mikrokanálek; nízkoteplotně vypalovaná keramika

Institution: Brno University of Technology (web)
Document availability information: Fulltext is available in the Brno University of Technology Digital Library.
Original record: http://hdl.handle.net/11012/32083

Permalink: http://www.nusl.cz/ntk/nusl-221036


The record appears in these collections:
Universities and colleges > Public universities > Brno University of Technology
Academic theses (ETDs) > Master’s theses