|
|
Izolační vlastnosti struktur typu Flip chip
Dóczy, Robert ; Šandera, Josef (oponent) ; Pulec, Jiří (vedoucí práce)
Tato práce se zabývá problematikou izolačních vlastností mikroelektronických struktur. Konkrétně odporem izolační mezery, jež odděluje vodivé části systému. Jsou zde nastíněny vlivy, které na izolační odpor působí a také metody, kterými se izolační odpor měří. Je zde také lehce nastíněna problematika návrhu pouzder a způsobů, kterými lze připojit mikroelektronický čip do obvodu. V experimentální části se práce zabývá konkrétním návrhem struktur typu flip-chip. Vodivý motiv těchto struktur byl zhotoven tak, aby umožnil zkoumat vliv materiálů, použitých při jejich kompletaci, na povrchový izolační odpor. Za tímto účelem byly struktury navíc podrobeny sérií oplachů, jejichž vliv je zde také prodiskutován.
|
|
|
Optimalizace výroby dutin v keramice s nízkou teplotou výpalu
Dóczy, Robert ; Somer, Jakub (oponent) ; Štekovič, Michal (vedoucí práce)
Diplomová práce se zabývá realizací uzavřených dutin v keramice s nízkou teplotou výpalu (LTCC). V posledních letech je LTCC keramice věnována stále větší pozornost v oblastech senzorů, MEMS a mikro-fluidních aplikacích. Při realizaci takových zařízení je důležité, aby si dutiny zachovaly svou kompaktnost a rozměry po výrobním procesu. Toho je dosaženo především správnou volbou laminačního postupu za vhodných parametrů laminace a vhodným nastavením vypalovacího profilu. Teoretická část práce popisuje jednotlivé kroky při výrobě LTCC struktury a dále se zabývá nejčastějšími technologickými postupy používanými pro tvorbu struktur s dutinami a mikro-kanálky. V praktické části práce jsou vybrané laminační postupy realizovány na testovacím motivu, jež obsahuje dutiny o různých rozměrech. Byl kladen důraz na správné provedení jednotlivých metod, přičemž se postupně modifikovaly laminační parametry. Dosažené výsledky jsou dále diskutovány z hlediska použitých postupů, nastavených parametrů procesu a jejich vlivu na rozměry zhotovovaných dutin.
|
|
|
Izolační vlastnosti struktur typu Flip chip
Dóczy, Robert ; Šandera, Josef (oponent) ; Pulec, Jiří (vedoucí práce)
Tato práce se zabývá problematikou izolačních vlastností mikroelektronických struktur. Konkrétně odporem izolační mezery, jež odděluje vodivé části systému. Jsou zde nastíněny vlivy, které na izolační odpor působí a také metody, kterými se izolační odpor měří. Je zde také lehce nastíněna problematika návrhu pouzder a způsobů, kterými lze připojit mikroelektronický čip do obvodu. V experimentální části se práce zabývá konkrétním návrhem struktur typu flip-chip. Vodivý motiv těchto struktur byl zhotoven tak, aby umožnil zkoumat vliv materiálů, použitých při jejich kompletaci, na povrchový izolační odpor. Za tímto účelem byly struktury navíc podrobeny sérií oplachů, jejichž vliv je zde také prodiskutován.
|
|
|
Optimalizace výroby dutin v keramice s nízkou teplotou výpalu
Dóczy, Robert ; Somer, Jakub (oponent) ; Štekovič, Michal (vedoucí práce)
Diplomová práce se zabývá realizací uzavřených dutin v keramice s nízkou teplotou výpalu (LTCC). V posledních letech je LTCC keramice věnována stále větší pozornost v oblastech senzorů, MEMS a mikro-fluidních aplikacích. Při realizaci takových zařízení je důležité, aby si dutiny zachovaly svou kompaktnost a rozměry po výrobním procesu. Toho je dosaženo především správnou volbou laminačního postupu za vhodných parametrů laminace a vhodným nastavením vypalovacího profilu. Teoretická část práce popisuje jednotlivé kroky při výrobě LTCC struktury a dále se zabývá nejčastějšími technologickými postupy používanými pro tvorbu struktur s dutinami a mikro-kanálky. V praktické části práce jsou vybrané laminační postupy realizovány na testovacím motivu, jež obsahuje dutiny o různých rozměrech. Byl kladen důraz na správné provedení jednotlivých metod, přičemž se postupně modifikovaly laminační parametry. Dosažené výsledky jsou dále diskutovány z hlediska použitých postupů, nastavených parametrů procesu a jejich vlivu na rozměry zhotovovaných dutin.
|
host ::
RSS.