Original title:
Charakterizace autoemisních zdrojů pro elektronovou mikroskopii
Translated title:
Characterisation for the cold field-emission sources intended for electron microscopy
Authors:
Vašíček, Martin ; Tománek, Pavel (referee) ; Grmela, Lubomír (advisor) Document type: Master’s theses
Year:
2013
Language:
cze Publisher:
Vysoké učení technické v Brně. Fakulta elektrotechniky a komunikačních technologií Abstract:
[cze][eng]
Tato práce se zabývá teoretickými základy emise elektronů do vakua, jednotlivými typy emisí se zaměřením na studenou a Schottkyho emisi a principu tunelového jevu. V další části se práce věnuje technické realizaci elektronových zdrojů s detailním prostudováním metodiky laboratorní výroby katod elektrochemickým leptáním a konstrukcí elektronových mikroskopů, využívajících autoemisních zdrojů. Součástí práce je návrh metody pro měření, zpracování a vyhodnocování elektrických charakteristik emisních zdrojů.
This work deals with the theoretical foundations of electron emission into vacuum, various types of emissions, focused on the cold-emission and Schottky emission and the principle of quantum tunneling. The next part deals with the technical implementation of electron sources with a detailed study of the methodology of laboratory production of cathodes by electrochemical etching and construction of electron microscopes, using field-emission sources. This work also contains methods for measuring, processing and evaluation of electrical characteristics of emission sources.
Keywords:
cathode; electrochemical etching; electron emission into vacuum; electron microscopes; field emission; quantum tunnelling; Schottky emission; SEM; STM; TEM; thermionic emission; autoemise; elektrochemické leptání; elektronové mikroskopy; emise elektronů do vakua; katoda; Schottkyho emise; SEM; STM; TEM; termoemise; tunelový jev
Institution: Brno University of Technology
(web)
Document availability information: Fulltext is available in the Brno University of Technology Digital Library. Original record: http://hdl.handle.net/11012/26769