Original title: Ionizační detektor pro ESEM
Translated title: Ionization detector for ESEM
Authors: Pokluda, Tomáš ; Špinka, Jiří (referee) ; Jirák, Josef (advisor)
Document type: Master’s theses
Year: 2013
Language: cze
Publisher: Vysoké učení technické v Brně. Fakulta elektrotechniky a komunikačních technologií
Abstract: [cze] [eng]
Diplomová práce je zaměřena na problematiku environmentálních rastrovacích elektronových mikroskopů, včetně popisu základních fyzikálních mechanismů. Popisuje návrh a realizaci elektrodového systému ionizačního detektoru vhodného pro detekci signálních elektronů s větším podílem sekundárních elektronů. Dále se zabývá simulacemi drah elektronů v elektrostatickém poli detektoru a ověřením funkčnosti detektoru v prostředí vodních par v komoře vzorku elektronového mikroskopu. This thesis is focused on the environmental scanning electron microscopes including a description of the basic physical mechanisms. It describes the design and realization of the electrode ionization detector system suitable for the detection of signal electrons with a greater proportion of secondary electrons. It also deals with simulations of trajectories of electrons in the electrostatic field of the detector, and with verification of the functionality of the detector in the environment of water vapors in the specimen chamber of the electron microscope.
Keywords: back scattered electrons; Environmental scanning electron microscope; ionization detector; secondary electrons; signal level.; Environmentální rastrovací elektronový mikroskop; ionizační detektor; sekundární elektrony; zpětně odražené elektrony; úroveň signálu.

Institution: Brno University of Technology (web)
Document availability information: Fulltext is available in the Brno University of Technology Digital Library.
Original record: http://hdl.handle.net/11012/27258

Permalink: http://www.nusl.cz/ntk/nusl-220106


The record appears in these collections:
Universities and colleges > Public universities > Brno University of Technology
Academic theses (ETDs) > Master’s theses