Název: Lokální charakterizace elektronických součástek
Překlad názvu: Local characterization of electronic devices
Autoři: Müller, Pavel ; Škarvada, Pavel (oponent) ; Tománek, Pavel (vedoucí práce)
Typ dokumentu: Diplomové práce
Rok: 2010
Jazyk: cze
Nakladatel: Vysoké učení technické v Brně. Fakulta elektrotechniky a komunikačních technologií
Abstrakt: [cze] [eng]
Vývoj mikro a nano elektroniky a nanooptiky si vyžaduje nové charakterizační techniky k zajištění kvality navrhovaných součástek. Práce popisuje použití skenovacího optického mikroskopu v blízkém poli (SNOM) v rozměrové kontrole a v lokálním vyšetřování různých parametrů. Příklad jeho potenciálu korelace mezi topografií a odrazivostí měřených kondenzátorů je popsána v této práci. The development of micro and nanoelectronics and nanophotonics needs novel characterization techniques to ensure higher quality of designed devices. The thesis describes a use of Scanning Near-field Optical Microscopy (SNOM) in dimensional control and in local investigation of diverse physical parameters. As example of its potential, the correlation between object topography and reflection measurement of capacitors is shown.
Klíčová slova: AFM; evanescentní vlny; kondenzátor; lokální charakterizace; mikroskop; NSOM; odrazivost; SNOM; SPM; topografie; AFM; capacitor; evanescent waves; local characterization; microscope; NSOM; reflectivity; SNOM; SPM; topography

Instituce: Vysoké učení technické v Brně (web)
Informace o dostupnosti dokumentu: Plný text je dostupný v Digitální knihovně VUT.
Původní záznam: http://hdl.handle.net/11012/5268

Trvalý odkaz NUŠL: http://www.nusl.cz/ntk/nusl-218237


Záznam je zařazen do těchto sbírek:
Školství > Veřejné vysoké školy > Vysoké učení technické v Brně
Vysokoškolské kvalifikační práce > Diplomové práce