Original title:
Ionizační detektor pro EREM
Translated title:
Ionization Detector for Variable Pressure SEM
Authors:
Černoch, David ; Špinka, Jiří (referee) ; Jirák, Josef (advisor) Document type: Master’s theses
Year:
2009
Language:
cze Publisher:
Vysoké učení technické v Brně. Fakulta elektrotechniky a komunikačních technologií Abstract:
[cze][eng]
Diplomová práce se zabývá vlivem vkládané mřížky mezi vzorek a ionizační detektor v environmentálním rastrovacím elektronovém mikroskopu. Při změnách tlaku, napětí na mřížce při různých vzdálenostech vzorek detektor a vzorek mřížka je měřena velikost relativní úrovně signálu. Vliv přídavné mřížky na detekovaný signál je simulován programem pro realné podmínky používaného ionizačního detektoru.
This graduation theises deal with influence of an additional grating possitioned berween the sample and the ionisation detektor of the environmental scannin elektron microscope on signal detection. Signal level is measured for changing pressure, at different voltages on the aditional grating, at different sample - additional electrode distance and at different sample - detektor distance. Influence of the additional grating is simulated for real working conditions on PC.
Keywords:
environmental scanning electron microscope (environmental SEM); Ionization detektor ( ID ); Scanning electron microscope (SEM); secondary electrons (SE); environmentální rastrovací elektronový mikroskop (EREM); ionizační detektor (ID); Rastrovací elektronový mikroskop (REM); sekundární elektrony (SE)
Institution: Brno University of Technology
(web)
Document availability information: Fulltext is available in the Brno University of Technology Digital Library. Original record: http://hdl.handle.net/11012/7405