Original title:
Scintilační detektor sekundárních elektronů pro ESEM
Translated title:
Scintillation Detector of Secondary Electrons for ESEM
Authors:
Čudek, Pavel ; Špinka, Jiří (referee) ; Jirák, Josef (advisor) Document type: Master’s theses
Year:
2008
Language:
cze Publisher:
Vysoké učení technické v Brně. Fakulta elektrotechniky a komunikačních technologií Abstract:
[cze][eng]
Práce se zabývá úpravou a stavbou scintilačního detektoru sekundárních elektronů pro enviromentální rastrovací elektronový mikroskop. Popisuje problematiku rastrovací enviromentální elektronové mikroskopie, typy detektorů a detekci sekundárních elektronů. Obsahem praktické části je návrh a stavba nového scintilačního detektoru na základě simulací drah sekundárních elektronů. U realizovaného detektoru pak proměření jeho parametrů, proměření tlakových závislostí a optimalizace elektrodového systému.
The thesis deals with modifying and biulding of scintilation detector of secondary electrons for environmental scanning electron microscopy. It describes dilemma of environmental scanning electron microscopy, types of detectors and secondary electrons detection. The experimental part of this thesis focuses on the design and construction of new scintillation detector on the basis of simulations secondary electrons trajectories. Identifying the parameters, pressure dependencies and optimizations of electrode system of the detector realized.
Keywords:
environmental scanning electron microscopy (ESEM); Scanning electron microscopy (SEM); scintillation detector (SD); scintillation detector for environmental scanning electron microscopy (SD-ESEM); secondary electrons (SE).; enviromentální rastrovací elektronový mikroskop (EREM); Rastrovací elektronový mikroskop (REM); scintilační detektor (SD); scintilační detektor pro enviromentální rastrovací elektronový mikroskop (SD-EREM); sekundární elektrony (SE).
Institution: Brno University of Technology
(web)
Document availability information: Fulltext is available in the Brno University of Technology Digital Library. Original record: http://hdl.handle.net/11012/15066