Original title:
Studium molekulárních svazků organických materiálů
Translated title:
Studies of molecular beams of organic materials
Authors:
Maniš, Jaroslav ; Průša, Stanislav (referee) ; Mach, Jindřich (advisor) Document type: Bachelor's theses
Year:
2014
Language:
cze Publisher:
Vysoké učení technické v Brně. Fakulta strojního inženýrství Abstract:
[cze][eng]
Tato bakalářská práce se zabývá sestavením nízkoteplotní efuzní cely vhodné pro napařování organických materiálů. Je provedena kalibrace provozních teplot efuzní cely. Jsou provedeny depozice organického polovodičového materiálu a je proměřena morfologie povrchu vzniklých vrstev na AFM a SEM zařízení. Součástí práce je rešeršní studie shrnující poznatky o využití organických materiálů v polovodičovém průmyslu.
This bachelor's thesis deals with assembling of low-temperature efussion cell which is suitable for deposition of organic materials. The calibration of operating temperature of effusion cell is performed. Depositions of organic semiconductor material are realized. Morphology of surface of thin film is studied in AFM and SEM microscope. In the paper background research on the utilization of organic materials in semiconductor industry is presented.
Keywords:
deposition; Efussion cell; organic materials; semiconductors.; depozice; Efuzní cela; organické materiály; polovodiče.
Institution: Brno University of Technology
(web)
Document availability information: Fulltext is available in the Brno University of Technology Digital Library. Original record: http://hdl.handle.net/11012/33422