Original title: Kalibrace vychylovacího pole litografu řady BS600 využitím režimu REM
Translated title: Deflection Field Calibration of the Series BS600 Lithograph using the SEM
Authors: Daněk, Lukáš
Document type: Papers
Conference/Event: PDS 2003 Seminář doktorandů oboru Elektronová optika, Brno (CZ), 2004-01-30
Year: 2004
Language: cze
Keywords: Deflection Field Calibration; Lithograph; SEM
Project no.: CEZ:AV0Z2065902 (CEP)
Host item entry: PDS 2003 - Sborník prací doktorandů prezentovaných na Semináři oddělení Elektronové optiky na počátku roku 2004, ISBN 80-239-2268-8

Institution: Institute of Scientific Instruments AS ČR (web)
Document availability information: Fulltext is available at the institute of the Academy of Sciences.
Original record: http://hdl.handle.net/11104/0016221

Permalink: http://www.nusl.cz/ntk/nusl-20528


The record appears in these collections:
Research > Institutes ASCR > Institute of Scientific Instruments
Conference materials > Papers