Název:
Kalibrace vychylovacího pole litografu řady BS600 využitím režimu REM
Překlad názvu:
Deflection Field Calibration of the Series BS600 Lithograph using the SEM
Autoři:
Daněk, Lukáš Typ dokumentu: Příspěvky z konference Konference/Akce: PDS 2003 Seminář doktorandů oboru Elektronová optika, Brno (CZ), 2004-01-30
Rok:
2004
Jazyk:
cze
Klíčová slova:
Deflection Field Calibration; Lithograph; SEM Číslo projektu: CEZ:AV0Z2065902 (CEP) Zdrojový dokument: PDS 2003 - Sborník prací doktorandů prezentovaných na Semináři oddělení Elektronové optiky na počátku roku 2004, ISBN 80-239-2268-8
Instituce: Ústav přístrojové techniky AV ČR
(web)
Informace o dostupnosti dokumentu:
Dokument je dostupný v příslušném ústavu Akademie věd ČR. Původní záznam: http://hdl.handle.net/11104/0016221