Original title: Trajectories of Signal Electrons in Low-Voltage BSE Detector
Translated title: Trajektorie signálních elektronů v nízkonapěťovém BSE detektoru
Authors: Wandrol, Petr ; Autrata, Rudolf
Document type: Papers
Conference/Event: Recent Trends /9./ in Charged Particle Optics and Surface Physics Instrumentation, Skalský Dvůr (CZ), 2004-07-12 / 2004-07-16
Year: 2004
Language: eng
Abstract: [eng] [cze]
Nowadays the development of the image formation in scanning electron microscope (SEM) is oriented to the use of scanning electron microscopes with low accelerating voltage of the primary beam (LV SEM). Secondary electrons (SEs) for topographical contrast observation and backscattered electrons (BSEs) for material contrast observation are the main components of the detected signal in LV SEM. While the secondary electrons can be detected either by Everhart-Thornley scintillation detector or by the "in lens" SE detector, the detection of backscattered electrons (BSEs) in LV SEM is an unsolved problem yet Současný vývoj v rastrovací elektronové mikroskopii je orientován na používání nízkého napětí urychlujícího svazek primárních elektronů (LV SEM). Sekundární elektrony (SE) pro pozorování topografického kontrastu, a zpětně odražené elektrony (BSE), pro pozorování materiálového kontrastu, jsou hlavní složky detekovaného signálu v LV SEM. Zatímco SE mohou být detekovány Everhart-Thornley scintillation detector nebo in-lens detektorem, detekce BSE v LV SEM je dosud nevyřešený problém
Keywords: BSE detector; LV SEM; scintillation detector
Project no.: IBS2065107 (CEP)
Funding provider: GA AV ČR
Host item entry: Proceedings of the 9th International Seminar Recent Trends in Charged Particle Optics and Surface Physics Instrumentation, ISBN 80-239-3246-2

Institution: Institute of Scientific Instruments AS ČR (web)
Document availability information: Fulltext is available at the institute of the Academy of Sciences.
Original record: http://hdl.handle.net/11104/0016164

Permalink: http://www.nusl.cz/ntk/nusl-20515


The record appears in these collections:
Research > Institutes ASCR > Institute of Scientific Instruments
Conference materials > Papers