Original title:
Design of the Low-Voltage SEM
Translated title:
Návrh nízkoenergiového REM
Authors:
Vlček, Ivan ; Lencová, Bohumila ; Horáček, Miroslav Document type: Papers Conference/Event: Recent Trends /9./ in Charged Particle Optics and Surface Physics Instrumentation, Skalský Dvůr (CZ), 2004-07-12 / 2004-07-16
Year:
2004
Language:
eng Abstract:
[eng][cze] Our aim is to redesign the low-energy SEM (a scanning LEEM) in an UHV apparatus designed in our institute to allow the detection of the angular distribution of signal electrons. For this purpose we have to separate the signal electrons from the primary beam with a Wien filter and project the image of the back-focal plane of the objective lens on an area-sensitive detector (a back-illuminated CCD). Therefore we have to design a new electrostatic optics working in UHVNaším cílem je upravit nízkoenergiový mikroskop, který byl realizován v ÚPT AVČR , pro detekci úhlového rozložení signálních elektronů. Ke splnění cíle musíme oddělit svazek signálních elektronů od svazku primárních elektronů pomocí Wienova filtru a zobrazit zadní ohniskovou rovinu objektivové čočky na polohově citlivý detektor (ze zadní strany osvětlovaný CCD). Pro tento účel byl navržen nový elektrostatický optický systém pracující v ultravakuu
Keywords:
low-energy SEM; Wien filter Project no.: GA202/03/1575 (CEP) Funding provider: GA ČR Host item entry: Proceedings of the 9th International Seminar Recent Trends in Charged Particle Optics and Surface Physics Instrumentation, ISBN 80-239-3246-2
Institution: Institute of Scientific Instruments AS ČR
(web)
Document availability information: Fulltext is available at the institute of the Academy of Sciences. Original record: http://hdl.handle.net/11104/0016163