Original title: Electrostatic Low Energy Scanning Electron Microscope for Auger Analysis
Translated title: Elektrostatický nízkoenergiový rastrovací elektronový mikroskop pro Augerovu analýzu
Authors: Romanovský, V. ; El Gomati, M. M. ; Frank, Luděk ; Müllerová, Ilona
Document type: Papers
Conference/Event: Recent Trends /9./ in Charged Particle Optics and Surface Physics Instrumentation, Skalský Dvůr (CZ), 2004-07-12 / 2004-07-16
Year: 2004
Language: eng
Abstract: [eng] [cze]
A scanning low energy electron microscope (SLEEM) was realized with a cathode lens in which the negatively biased specimen is used as the cathode. In this arrangement, electrons pass through the microscope at high energy and are decelerated to low energy before landing on the sample. This design brings plenty of signal even in the landing energy range of tens or units of eV. However, the use of the primary electrons with low energy brings some problems e.g. low source brightness, increased aberrations and sensitivity to stray fields. The scanning Auger microscopy (SAM) is well-established experimental method. A combination of SAM and SLEEM in one device would therefore provide a sufficient tool to solve the problems inherent in these individual methods. Although much has already been achieved in the area of detection of slow electrons, none of the methods currently known is suitable to be built into a scanning illumination column for Auger microprobe analysis Byl realizován rastrovací nízkoenergiový elektronový mikroskop (SLEEM) s katodovou čočkou, v níž jako katoda slouží vzorek připojený na záporný potenciál. V tomto uspořádání procházejí elektrony mikroskopem s vysokou energií a na nízkou energii jsou bržděny těsně před svým dopadem na vzorek. Takový systém zajišťuje vysokou úroveň signálu dokonce i při energiích dopadu v desítkách nebo jednotkách eV. Používání primárních elektronů o nízké energii přináší mnohé problémy, jako např. nízký jas zdroje, zvětšené zobrazovací vady a citlivost k rušivým polím. Rastrovací Augerova mikroskopie (SAM) je dobře zavedenou experimentální metodou. Kombinace SAM a SLEEM v jediném zařízení by tedy představovala nástroj postačující k vyřešení problémů, s nimiž se tyto metody potýkají jednotlivě. Ačkoliv již bylo mnohé vykonáno na poli detekce pomalých elektronů, žádná z metod známých v současnosti není způsobilá k zabudování do rastrovacího osvětlovacího tubusu pro analytickou Augerovu mikrosondu
Keywords: scanning Auger microscopy; scanning low energy electron microscope
Project no.: GA202/04/0281 (CEP)
Funding provider: GA ČR
Host item entry: Proceedings of the 9th International Seminar Recent Trends in Charged Particle Optics and Surface Physics Instrumentation, ISBN 80-239-3246-2

Institution: Institute of Scientific Instruments AS ČR (web)
Document availability information: Fulltext is available at the institute of the Academy of Sciences.
Original record: http://hdl.handle.net/11104/0016161

Permalink: http://www.nusl.cz/ntk/nusl-20512


The record appears in these collections:
Research > Institutes ASCR > Institute of Scientific Instruments
Conference materials > Papers