Název:
Collection Efficiency of the Detector of Secondary Electrons in SEM
Překlad názvu:
Sběrová účinnost detektoru sekundárních elektronů v REM
Autoři:
Konvalina, Ivo ; Müllerová, Ilona Typ dokumentu: Příspěvky z konference Konference/Akce: Recent Trends /9./ in Charged Particle Optics and Surface Physics Instrumentation, Skalský Dvůr (CZ), 2004-07-12 / 2004-07-16
Rok:
2004
Jazyk:
eng
Abstrakt: [eng][cze] In order to collect the secondary electrons (SE), scanning electron microscopes (SEM) are equipped with the Everhart-Thornley (ET) type detector. The electrostatic field of the front grid, biased to a positive potential of several hundred volts , is to attract all SE of kinetic energy below 50 eV or at least those from the SE spectrum peak at 1(3 eV. However, the detection quantum efficiency (DQE) of such detectors has been found to be significantly lower than one, which is mainly given by their low collection efficiency. The electrostatic field of the grid cannot sufficiently penetrate toward the specimen and influence the trajectories of SE owing to grounded electrodes surrounding the specimen (specimen alone and its holder, specimen stage, pole piece of the objective lens, etc)Za účelem sběru sekundárních elektronů (SE) jsou rastrovací elektronové mikroskopy (REM) vybaveny Everhart-Thornley-ho detektorem. Elektrostatické pole síťky na kladném potenciálu několika set voltů má přitahovat všechny SE s kinetickou energií pod 50 eV nebo alespoň ty s energií v blízkosti píku 1-3 eV ve spektru SE. Detekční kvantová účinnost (DQE) mnoha detektorů je ale výrazně menší než jedna a to je převážně dáno jejich malou sběrovou účinností. Elektrostatické pole síťky nemůže dostatečně pronikat ke vzorku a ovlivňovat trajektorie SE kvůli elektrodám na zemním potenciálu v okolí vzorku (samotný vzorek, jeho držák, stolek, pólové nástavce objektivu, atd.)
Klíčová slova:
collection efficiency; scanning electron microscopy; secondary electrons Číslo projektu: CEZ:AV0Z2065902 (CEP) Zdrojový dokument: Proceedings of the 9th International Seminar Recent Trends in Charged Particle Optics and Surface Physics Instrumentation, ISBN 80-239-3246-2
Instituce: Ústav přístrojové techniky AV ČR
(web)
Informace o dostupnosti dokumentu:
Dokument je dostupný v příslušném ústavu Akademie věd ČR. Původní záznam: http://hdl.handle.net/11104/0016156