Original title: Very Low Energy Scanning Electron Microscopy
Translated title: Rastrovací elektronová mikroskopie pomalými elektrony
Authors: Hrnčiřík, Petr ; Müllerová, Ilona
Document type: Papers
Conference/Event: Recent Trends /9./ in Charged Particle Optics and Surface Physics Instrumentation, Skalský Dvůr (CZ), 2004-07-12 / 2004-07-16
Year: 2004
Language: eng
Abstract: [eng] [cze]
The largest sample thickness usable for transmission electron microscopy (TEM) is determined by the inelastic and elastic mean free paths (IMFP and EMFP). At primary electron energies normally used for TEM (>50 keV), both the mean free paths decrease as the primary energy is lowered. Attaining a sufficient penetration through a transmission sample of a given thickness is then simply a question of using a suitably high primary energy. As the primary energy is lowered below about 100 eV, however, IMFP is predicted to stop decreasing and to begin to grow again. This opens up the exciting possibility of very low voltage TEM, with poorer resolution but greatly reduced radiation damage compared to conventional TEM Největší možná tloušťka vzorku pro prozařovací elektronovou mikroskopii (TEM) je ovlivněna nepružnou a pružnou střední volnou dráhou (IMFP a EMFP). Při energiích běžně používaných v transmisní elektronové mikroskopii (>50 keV), obě střední volné dráhy se snižují s klesající energií primárního svazku. Proniknout dostatečně vzorkem dané tloušťky je potom pouze otázkou použití dostatečně vysoké energie primárních elektronů. Pokud je energie primárních elektronů snížena pod 100 eV, IMFP se opět zvyšuje. Toto otevírá možnost prozařovací elektronové mikroskopie pomalými elektrony, s nižším rozlišením ale velmi sníženým radiačním poškozením vzorku
Keywords: inelastic mean free path; low energy electrons,; STEM
Project no.: KJB2065405 (CEP)
Funding provider: GA AV ČR
Host item entry: Proceedings of the 9th International Seminar Recent Trends in Charged Particle Optics and Surface Physics Instrumentation, ISBN 80-239-3246-2

Institution: Institute of Scientific Instruments AS ČR (web)
Document availability information: Fulltext is available at the institute of the Academy of Sciences.
Original record: http://hdl.handle.net/11104/0016154

Permalink: http://www.nusl.cz/ntk/nusl-20505


The record appears in these collections:
Research > Institutes ASCR > Institute of Scientific Instruments
Conference materials > Papers