Original title: Influence of RF discharges on nanocrystalline diamond films growth by pulsed laser deposition
Translated title: Vliv RF výboje na růst nanokrystalických diamantových vrstev deponovaných metodou pulsní laserové depozice
Authors: Novotný, Michal ; Jelínek, Miroslav ; Bulíř, Jiří ; Lančok, Ján ; Vorlíček, Vladimír ; Michalka, M. ; Popov, C.
Document type: Papers
Conference/Event: NANO'03, Brno (CZ), 2003-10-21 / 2003-10-23
Year: 2003
Language: eng
Abstract: [eng] [cze]
In this paper, we report on the growth of NCD films by PLD in pure hydrogen ambient and by HPLD in Ar/H.sub.2./sub. ambient. HPLD systems were based on combination of PLD and addiational RF discharges. The deposited films were studied using Alfastep profilometer, X-ray diffraction, Raman spectroscopy and scanning electron microscopy V této studii je prezentován růst nanokrystalických diamantových vrstev metodou PLD v atmosféře čistého vodíku a metodou HPLD v směsi Ar+H.sub.2./sub.. HPLD systém je založen na kombinaci PLD s přídavným RF výbojem. Vlastnosti deponovaných vrstev byli studovány pomocí profilometru-Alfastep, XRD, ramanovou spektroskopií a skenovacím elektronovým mikroskopem
Keywords: diamond; laser deposition; thin films
Project no.: CEZ:AV0Z1010914 (CEP), IAA1010110 (CEP)
Funding provider: GA AV ČR
Host item entry: Nano'03, ISBN 80-214-2527-X

Institution: Institute of Physics AS ČR (web)
Document availability information: Fulltext is available at the institute of the Academy of Sciences.
Original record: http://hdl.handle.net/11104/0008223

Permalink: http://www.nusl.cz/ntk/nusl-19295


The record appears in these collections:
Research > Institutes ASCR > Institute of Physics
Conference materials > Papers