Original title:
Application of a helium calibrated leak for a cryopump performance measurement
Translated title:
Měření čerpací rychlosti kryovývěvy pomocí kalibrované heliové netěsnosti
Authors:
Urban, Pavel ; Dupák, Jan ; Hanzelka, Pavel ; Králík, Tomáš ; Musilová, Věra Document type: Papers Conference/Event: Cryogenics 2004 /8./ IIR International Conference, Praha (CZ), 2004-04-27 / 2004-04-30
Year:
2004
Language:
eng Abstract:
[eng][cze] This article describes the application of a calibrated He leak for measurement of the pumping speed of a small UHV helium bath cryopump. The pumping speed for He gas was measured with two versions of the optical baffles of the cryopump. The results were compared with the calculations by Monte Carlo simulationČlánek popisuje použití heliové kalibrované netěsnosti k měření čerpací rychlosti malé heliové lázňové kryovývěvy. Čerpací rychlost byla měřena pro dva typy vstupních radiačních přepážek kryovývěvy. Výsledky měření byly srovnány s výpočty metodou Monte Carlo
Keywords:
cryogenic; cryopump; Monte Carlo simulation Project no.: GA101/00/0028 (CEP) Funding provider: GA ČR Host item entry: Proceedings of the 8th Cryogenics 2004 IIR international conference, ISBN 2-913149-33-2, ISSN 0151-1637
Institution: Institute of Scientific Instruments AS ČR
(web)
Document availability information: Fulltext is available at the institute of the Academy of Sciences. Original record: http://hdl.handle.net/11104/0007525