Název: SMV-2013-29: Návrh technologie přípravy a realizace mnohovrstvého systému
Překlad názvu: SMV-2013-29: Deposition technology and implementation of multilayer system
Autoři: Sobota, Jaroslav
Typ dokumentu: Výzkumné zprávy
Rok: 2013
Jazyk: cze
Abstrakt: [cze] [eng]
Návrh technologie přípravy a realizace mnohovrstvého systému střídajícího ve dvouvrstvách molybden a křemík vytvořeného magnetronovým naprašováním tak, aby drsnost rozhraní uvedených vrstev nepřesahovala 0,2 nanometry a reprodukovatelnost tlouštěk dvouvrstev byla lepší než jedna desetina nanometru pro experimenty v rentgenovém laseru PALS. 0,2 nanometry. We have developed deposition technology and implementation of multilayer system of molybdenum and silicon prepared by magnetron sputtering. Interface roughness has to be smaller than 0.2 nm and reproducibility of bilayer thickness (i.e. molybdenum and silicon) must be better that 0.1nm. This multilayer system was used as a mirror in x-ray laser PALS.
Klíčová slova: EUV mirror; molybdenum; silicon; sputtering

Instituce: Ústav přístrojové techniky AV ČR (web)
Informace o dostupnosti dokumentu: Dokument je dostupný v příslušném ústavu Akademie věd ČR.
Původní záznam: http://hdl.handle.net/11104/0232026

Trvalý odkaz NUŠL: http://www.nusl.cz/ntk/nusl-180286


Záznam je zařazen do těchto sbírek:
Věda a výzkum > AV ČR > Ústav přístrojové techniky
Zprávy > Výzkumné zprávy