Original title:
SMV-2013-23: Vypracování a ověření metodiky fyzikální realizace optických tenkých vrstev metodou elektronového napařování
Translated title:
SMV-2013-23: Design and production feasibility study of various filters production by means of electron beam evaporation
Authors:
Pokorný, Pavel ; Oulehla, Jindřich Document type: Research reports
Year:
2013
Language:
cze Abstract:
[cze][eng] Posouzení a analýza spektrálních vlastností systému tenkých vrstev a výzkum a modelování možností realizace optických filtrů splňujících zadané spektrální vlastnosti a následné ověření teoretických úvah depozicí vzorků metodou napařování elektronovým svazkem a ověření reprodukovatelnosti.Analysis of spectral properties of thin layer coatings and a feasibility study to determine the possibility of production of filters with desired spectral properties. Subsequent verification of the theoretical modelling by thin layer coating production by means of electron beam evaporation and verification of reproducibility. In particular various lowpass, highpass and bandpass filters and photodetector sensitivity correction filters are studied.
Keywords:
e-beam evaporation; multilayer coatings; thin film coatings
Institution: Institute of Scientific Instruments AS ČR
(web)
Document availability information: Fulltext is available at the institute of the Academy of Sciences. Original record: http://hdl.handle.net/11104/0231990