Název: Application of pressurized hot water for etching of microfluidics
Autoři: Vašina, M. ; Grym, Jakub ; Foret, František
Typ dokumentu: Příspěvky z konference
Konference/Akce: CECE Junior 2013, Brno (CZ), 2013-11-12 / 2013-11-13
Rok: 2013
Jazyk: eng
Abstrakt: The subject of this study is a new method of glass etching and its application in microfluidics. Commonly, hydrofluoric acid is used for glass etching. In this study we have tested a new method of glass etching using pressurized hot water. Test motives were prepared using photolitography and metal sputtering on the glass substrate and the etching was performed in a newly developed device capable to compress and heat water to its critical point. Electron microscopy and profilometry have been used for analyzing the surface of the etched glass substrate.
Klíčová slova: microfluidics; pressurized hot water
Zdrojový dokument: Chemické Listy. Roč. 107, Issue s3., ISSN 0009-2770

Instituce: Ústav analytické chemie AV ČR (web)
Informace o dostupnosti dokumentu: Dokument je dostupný v příslušném ústavu Akademie věd ČR.
Původní záznam: http://hdl.handle.net/11104/0240941

Trvalý odkaz NUŠL: http://www.nusl.cz/ntk/nusl-178204


Záznam je zařazen do těchto sbírek:
Věda a výzkum > AV ČR > Ústav analytické chemie
Konferenční materiály > Příspěvky z konference