Original title: Nanoposuvné stolky s velkým rozsahem polohování pro AFM mikroskopii
Translated title: Nano-stage with a large range of positionig for AFM microscopy
Authors: Číp, Ondřej
Document type: Papers
Conference/Event: LASER53, Třešť (CZ), 2013-10-30 / 2013-11-01
Year: 2013
Language: cze
Abstract: [cze] [eng]
Nanopolohovací stolky pro mikroskopii atomárních sil (AFM) musí splňovat několik důležitých úkolů během procesu skenování. Především musejí zajistit polohování ve dvou souřadných osách (X a Y) a zároveň nesou testovaný vzorek, který je pak postupně posouván v těchto dvou osách přes místo, kde je umístěna detekční sonda. V případě AFM mikroskopie jde o specializovaný hrot, kterým je provedena inspekce celého povrchu vzorku v ose Z, za současného synchronizovaného pohybu v osách X a Y. Délkové rozlišení v ose Z sahá díky principu AFM mikroskopie až do subnanometrové oblasti. Proto je vyžadováno rozlišení polohy vzorku v ose X a Y také obvykle nejméně v řádu nanometrů. Tento kritický parametr je však navíc komplikován požadavkem, aby rozsah polohování v obou osách X a Y byl srovnatelný s velikostí vzorku. Běžné komerční nanoposuvné stolky dosahují maximálního rozsahu vychýlení v řádu několika set mikrometrů, zatímco vhodný rozsah se pohybuje v řádu jednotek milimetrů. V případě uvedených komerčních stolků se zde naráží na principiální omezení piezoelektrických akčních členů, které jsou schopny sice spojitě polohovat s rozlišením v subnanometrové oblasti, avšak maximální výchylka je pouze několik jednotek mikrometrů daných mechanickými možnostmi prohnutí lamel vícenásobného piezo členu. We present a new concept of long-range positioning stage for scanning probe microscopy. We developed the stuck planchet moving stage where X-Y axes of positioning are controlled by two incremental piezoelectric actuators. We demonstrated moving range up to 7 mm of positioning in both axes. The absolute position of the stage is measured by two optical linear encoders. The resolution of the positioning is about 10 nm.
Keywords: coherent lasers; interferometry; modelocked lasers
Project no.: ED0017/01/01, FR-TI1/241 (CEP), GAP102/10/1813 (CEP)
Funding provider: GA MŠk, GA MPO, GA ČR
Host item entry: Sborník příspěvků multioborové konference LASER53, ISBN 978-80-87441-10-7

Institution: Institute of Scientific Instruments AS ČR (web)
Document availability information: Fulltext is available at the institute of the Academy of Sciences.
Original record: http://hdl.handle.net/11104/0227743

Permalink: http://www.nusl.cz/ntk/nusl-166203


The record appears in these collections:
Research > Institutes ASCR > Institute of Scientific Instruments
Conference materials > Papers